步进式喷淋清洗机价格-铁岭步进式喷淋清洗机-济南巴克

公司于2008年通过了iso9001管理体系和欧盟ce---，先后与国外80多个合作，并与航发、大众、华为、小松机械、伊顿、沃德、长城、重汽、美利信、费斯托、中车、中航工业等企业达成长期战略合作关系。

旋转喷淋清洗机简介

旋转喷淋清洗机

1.设备具有清洗漂洗液体实时循环过滤系统，过滤系统设有压力监控功能，---提高了液体利用效率和滤芯更换提示；

2.设备能耗低，运行噪音小，无污染，环境---；

3.所有的气压都需要电子报控表，当气压不达标时会自动停机报警；

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越---，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益---。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。